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  真空装置、真空機器、ピラニー真空計、ペニング真空計、真空バルブ、真空フランジ、真空ゲージ

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  ゲートバルブ
  
VAT製    型式:01034-KE01-0002/0730

       
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  ピラニー真空計
  
アルバック製    型式:IS02

       
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  マイクロ波電源 (スパッタ電源)
  
AD-TECH製(アドテックプラズマ)    型式:ARP siries

       
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  マイクロ波電源 (スパッタ電源)
  
IDX製(アドテックプラズマ)    型式:IMG-2503S

       
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  電離真空計 (イオンゲージ)
  
アルバック製(ulvac)    型式:GI-TL3

       
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  膜厚計
  
アルバック製(ulvac)    型式:CRTM-7000

       
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  マイクロ波電源 (スパッタ電源)
  
IDX製(アドテックプラズマ)    型式:IMG-2502

       
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  電離真空計(イオンゲージ)
  
アルバック製    型式:GI-M

       
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  高周波発信機
  
森エンジニアリング製    型式:SFA300EX

       
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  真空コントローラー・ゲージ
  
MKS製    型式:651CD2S1NJ

       
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  ピラニー真空計
  
アルバック製    型式:GP-2A

       
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  DC電源
  
アルバック製    型式:DC-7017SIU

       
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  真空バルブ (ゲートバルブ)
  
HVA製    型式:ICF114

       
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  真空バルブ (ゲートバルブ)
  
HVA製    型式:ICF86

       
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  真空バルブ (アングルバルブ)
  
アルバック製    型式:VULH40

       
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  真空バルブ (ゲートバルブ)
  
アルバック製    型式:VUGP40

       
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  真空バルブ (ゲートバルブ/ICF114)
  
VAT製    型式:F14-58802-01

       
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  真空バルブ (アングルバルブ/NW25)
  
VAT製    型式:26382-KA01-0002/0037

       
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  マイクロ波電源 (スパッタ電源)
  
IDX製(アドテックプラズマ)    型式:IMG-2502+

       
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  ゲートバルブ
  
VAT製    型式:01032-CE44-ABM2/0030

       
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  プロセスモニター/コントローラー
  
アルバック製    型式:STANDAM

       
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  真空バルブコントローラー
  
インフィコン製    型式:VCC-500

 
       
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  真空ゲージコントローラー
  
インフィコン製    型式:VGC-023

 
       
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  RFマッチングボックス
  
JEOL製    型式:EHMN01A

       
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  真空バルブコントローラー
  
ライボルト製    型式:MEMBRANOVAC DM11

 
       
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  真空ゲージコントローラー
  
インフィコン製    型式:COMBIVAC CM31

 
       
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  電離真空計・コントローラー
  
アネルバ製    型式:M-832HG

 
       
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  電離真空計・コントローラー
  
アネルバ製    型式:M-822HG

 
       
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  ゲートバルブ(ICF253)
  
VAT製    型式:

       
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  クライオコンプレッサー(ヘリウムコンプレッサー)
  
鈴木商館製    型式:C300K

       
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  RF電源
  
アステック製  型式:ARF-1053

       
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  膜厚コントローラー (Deposition Contoroller)
  
インフィコン製   型式:IC/5

 
       
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  膜厚コントローラー (Deposition Contoroller)
  
インフィコン製    型式:XTC/2

       
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  EB電源 (電子ビーム電源)
  
日新技研製   型式:NEB-10W型

 
       
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  イオン銃電源 (EB電源)
  
PIC製   型式:KIP50HC-10

 
       
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  プラズマ電源 (RF電源)
  
AD-TEC製  型式:AX-2000V、AX-1000LFV

       
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  RF電源 (プラズマ電源)
  
ENI製    型式:OEM-12B-03、OEM-1250

       
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  ヘリウムコンプレッサー (クライオコンプレッサー)
  
鈴木商館製  型式:CCT-CK11003C

 
       
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  クライオコンプレッサー (ヘリウムコンプレッサー)
  
イワタニ製  型式:CW603

 
 
       
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  パルスドライバー (パルス グラディエント ドライバ)
  
バリアン製(VARIAN)    型式:L-700

 
       
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  RF電源 (プラズマ電源)
  
KYOSAN製(京三)    5kW

       
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  RF電源 (プラズマ電源)
  
AD-TEC製    型式:AX-1000U、AX-600V-EI

       
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  compact FULL Range Gauge (NW25)
  
バリアン製    型式:PKR-251

       
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  ゲートバルブ (ICF152)
  
FUJI SEIKI製    型式:BV-4AX0-HF

       
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  アングルバルブ (NW25)
  
バリアン製  型式:L6-281-302   

       
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  真空チャンバー (ICF152)
  
アネルバ製   

       
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  サーモカップル真空計 (サーモカップルバキュームゲージ)
  
アネルバ製    型式:M-012DM

       
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  ハイボルテージ直流電源 (定電圧・定電流直流電源)
  
グラスマンジャパン製    型式:PS/KL002.3P-YPS

       
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  クライオコンプレッサー (ヘリウムコンプレッサー)
  
鈴木商館製  型式:CCT-CK11003GA   (アイシン : TAC221LA)

       
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  ピラニー真空計/真空ゲージ
  
アルバック製   型式:GI-PARY

       
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  アングルバルブ (ICF114)
  
アネルバ製   型式:

 
       
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  アングルバルブ (ICF114)
  
VAT製   型式:

   
       
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  アングルバルブ (ICF152)
  
アネルバ製   型式:

 
       
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  真空排気ユニット
  
PIC製   型式:‐

   
       
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  RF電源 (プラズマ電源)
  
AD-TEC製    型式:TX series

       
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  RF電源 (プラズマ電源)
  
アドバンスエナジー製    型式:PDX-500

 
 
       
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  RF電源 (プラズマ電源)
  
アルバック製    型式:RFS-2780A

 
 
       
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  高真空用電磁弁
  
CKD製    型式:HVB112-X0309

       
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  真空配管部品 (NW25)
  
クランプ、センタリング、チーズ、エルボ、クロス、フレキ

       
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  直動式電磁弁
  
CKD製    型式:USG2-M5-2

       
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  RF電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
ENI製   型式:RFC-5

       
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  RF電源(高周波電源)
  
アドテック製(AD-TECH) 型式:AX-1000V

   
   
       
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  RFプラズマ電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
AD-TEC製(アドテック製)   型式:AX-3000V

 
売却済    
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  電子銃(Electron-gun)
  
5kV 2ch

       
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  マッチングコントローラー
  
ASTECH製  型式:RC-11  (AUTOMATIC MATCHING CONTROLLER)

 
       
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  マスフローコントローラー制御ユニット
  
STECH製  型式:PAC-S5

 
 
       
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  高周波電源(RF電源)
  
ADTECH製  型式:AX-500

 
 
       
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  高周波電源(RF電源)
  
アネルバ製  型式:PRF-125C

       
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  膜厚コントローラー
  
INFICON製(インフィコン)  型式:XTC

 
 
       
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  マッチングコントローラー
  
ULVAC製  型式:AMC 6D

 
 
       
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  マスフローコントローラー
  
AERA製/S-TEC製 各種

 



       
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  RF電源/RFジェネレーター
  
ENI製  型式:ACG-6B   出力:600W 13.56MHZ

 



       
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  Q-MASS 質量分析器
  
アネルバ製 ANELVA製

   
 


ANELVA

質量分析器

       
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  クライオコンプレッサー ヘリウムコンプレッサー
  
各種

   
 



       
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  ピラニー真空計
  
PIC製 Torr表示 2SETPOINT



       
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  プラズマ電源(DC電源)
  
ENI製  型式:DCG-100

 
       
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  DC電源(スパッタ電源)
  
アドバンスドエナジー製  型式:MDX pinnacle

 
 
       
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  サーモカップル真空計
  

 
 
       
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  高周波電源(RF電源)
  
ENI製  型式:OEM-10B

       
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  Deposition Controller
  
INFICON 型式:IC/5


INFICON

型式:IC/5

       
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  アングルバルブ (真空バルブ)
  
VAT製 型式:KA41
  アネルバ製 型式:V-025RV-MN 

       
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  ゲートバルブ (真空バルブ)
  
VAT製 フランジ径6インチ、8インチ
        型式:JA44 型式:JE01 型式:CA24 型式:JE28 


ゲートバルブ

ICFフランジ
VF/VCフランジ
インチサイズ  各種

       
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  真空配管部品
  
チーズ配管、エルボ配管、フレキ配管 各種 他...


真空配管部品

フレキホース
センターリング、クランプ
メクラフランジ
クロス、エルボ、チーズ配管

       
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