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  電子銃(EB GUN)
  
アネルバ製  型式:EGP-230

 
       
     
       
       

  真空蒸着装置
  
昭和真空製  型式:SGC-8M-U、Φ500

 
 
       
     
       
       

  スパッタ装置
  
アネルバ製  型式:SPF-730H

 
       
     
       
       

  RF電源(スパッタ電源)
  
AD-TEC製(アドテック)  型式:AX-1000   型式:AX-2000

 
 
       
     
       
       

  RF電源(スパッタ電源)
  
アルバック製  型式:PRF-065B

 
 
       
     
       
       

  RF電源(スパッタ電源)
  
アドバンスドエナジー製 型式:RFX-3K(3kW)

 
       
     
       
       

  プラズマアッシャー
  
ブランソン製     型式:P2100

 
 
       
     
       
       

  DC電源   RF電源(高周波電源)
  
DC電源:MDXシリーズ     RF電源(高周波電源)

 
 
       
     
       
       

         
         
         

 

 

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