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電子銃(EB GUN)
アネルバ製
型式:EGP-230
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真空蒸着装置
昭和真空製
型式:SGC-8M-U、Φ500
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スパッタ装置
アネルバ製
型式:SPF-730H
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RF電源(スパッタ電源)
AD-TEC製(アドテック)
型式:AX-1000 型式:AX-2000
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RF電源(スパッタ電源)
アルバック製
型式:PRF-065B
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RF電源(スパッタ電源)
アドバンスドエナジー製
型式:RFX-3K(3kW)
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プラズマアッシャー
ブランソン製
型式:P2100
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DC電源 RF電源(高周波電源)
DC電源:MDXシリーズ RF電源(高周波電源)
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