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  プラズマCVD装置
  
サムコ製   型式:PD-220

       
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  ヘリウムリークディテクター
  
島津製   型式:MSE-3200R

       
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  ヘリウムリークディテクター
  
アルバック製   型式:HELIOT 704

       
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  真空蒸着装置
  
アルバック製    型式:VPC-410A

       
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  ツインコーター
  
日本電子製(JEOL)   型式:JFC-550

       
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  ヘリウムリークディテクター
  
アネルバ製   型式:ASM110

       
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  ドライエッチング装置
  
ナノテック製   型式:NCP-400

       
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  ヘリウムリークディテクター
  
アネルバ製   型式:M-212LD

       
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  クイックコーター
  
日本電子&サンユー電子製   型式:JFC-1500

       
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  ファインコーター
  
日本電子製(JEOL)   型式:JFC-1300

       
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  イオンスパッタ装置
  
サンユー電子製   型式:TM-SC101

       
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  真空排気装置
  
大阪真空製   型式:TG220FVAB(TMP) POMPING UNIT

       
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  真空蒸着装置
  
日本電子製(JEOL)   型式:JEE-420

       
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  カーボンコーター
  
日本電子製(JEOL)    型式:JEC-560

       
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  真空蒸着・イオンスパッタ共用装置
  
サンユー電子製    型式:SVC-720

       
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  カーボンコーター
  
真空デバイス製  型式:VC-100

       
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  ファインコーター
  
JEOL製(日本電子)   型式:JFC-1200

 
       
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  カーボンコーター
  
JEOL製(日本電子)   型式:JEC-520

 
       
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  真空蒸着装置 (小型蒸着機)
  
日本電子製(JEOL)   型式:JEE-420T

       
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  クイックコーター
  
サンユー電子製   型式:SC-701C

       
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  真空蒸着装置 (小型蒸着機)
  
日本電子製(JEOL)   型式:JEE-450D

       
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  ヘリウムリークディテクター
  
アルバック製   型式:DLMS-TP3E

       
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  ヘリウムリークディテクター
  
ファイファー製   型式:HLT570

       
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  真空蒸着機 (小型蒸着装置)
  
日立製  型式:HUS-5GB

       
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  スパッタリング装置 (マグネトロンスパッタ)
  
日本電子製   型式:JUC-5000

       
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  真空蒸着装置 (小型蒸着機)
  
日本電子製   型式:JEE-400

       
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  カーボンコーター
  
メイワ製   型式:CC-40F

       
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  イオンスパッタ
  
日本電子製【JEOL製)   型式:JFV-1100E

       
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  真空排気ユニット
  
PIC製   型式:‐

   
       
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  真空デシケーター
  
日本電子製(JEOL製)   型式:EM-DSC10E

       
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  保護膜コーティング装置
  
PIC製   型式:SCPICmini

       
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  真空蒸着機
  
 

       
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  イオンコーター/カーボンコーター
  
JEOL製(日本電子製)  型式:JEC-530

 
       
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  イオンスパッタ
  
日立製  型式:E-1045

 
 
売却済      
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  イオンコーター(QUICK COATER)
  
サンユー電子製  型式:SC-701

 
       
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  スパッタリング装置
  
ANELVA製  型式:SPF-332H

       
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  プラズマクリーナー
  
ヤマト科学製  型式:PDV-210

 
       
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  スパッタ装置
  
アネルバ製  型式:SPF-530H

 
       
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  ヘリウムリークディテクター
  
島津製 型式:MSE-3200

       
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  ICPエッチャー
  
STS製   型式:MESC Multiplex ICP

 
       
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  RF電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
ENI製   型式:RFC-5

       
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  RFプラズマ電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
AD-TEC製(アドテック製)   型式:AX-3000V

 
売却済      
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  プラズマアッシング装置
  
プラズマシステム製   型式:PE-615L

 
 
       
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  プラズマアッシャー
  
モリエンジニアリング製 型式:PB-600

 
       
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  スパッタリング装置(RFスパッタ)
  
神鋼製 型式:SRV4220型

       
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  真空蒸着機
  
アルバック製 型式:EBX-12C

 
       
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  イオンスパッタ(卓上スパッタ装置)
  
日立製 型式:E-1030

 
       
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  製膜装置
  
サムコ製 型式:PD-200D

 
       
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  プラズマアッシャー
  
プラズマシステム製 型式:DES-106-254E

 
 
       
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  ドライエッチング装置
  
アネルバ製 型式:DEM-451M

       
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  蒸着機
  
アネルバ製 型式:EVC-1501

 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
ENI製 型式:OEM-10B

 
       
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  ヘリウムリークディテクター
  
アネルバ製

 
 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
AD-TEC製(アドテック)  型式:AX-1000   型式:AX-2000

 
 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
アルバック製  型式:PRF-065B

 
 
       
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  DC電源(スパッタ電源)
  
アドバンスドエナジー製  DC電源:MDXシリーズ

       
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