中古装置、中古設備、中古機械、中古産業機器　販売
　　真空装置、真空機器、成膜装置、真空蒸着機、スパッタ装置
　　メカニカルブースターポンプ 、ドライポンプ、ロータリーポンプ

真空蒸着機

アルバック製　EDX-14D　
EB電源、電子銃、チャンバー径：Φ700xH800mm

真空排気ユニット

アルバック製　ロータリーポンプ〜メカニカルブースターポンプ

真空チャンバー

大型チャンバー　径：Φ1000xH1000mm

真空硝子チャンバー

真空ガラスチャンバー　ロータリーポンプ　AS ONE製

ルーツ真空ポンプ

アンレット製　FT2-80　
仕様：排気速度：0.7�G/min、出力：2.2kW

真空配管部品

フランジ、配管、チューブ、変換フランジ、等など．．．

真空バルブ
真空ゲートバルブ

VAT製　フランジ径6インチ、8インチ

真空バルブ
真空ゲートバルブ

VAT製　ゲートバルブ、フランジ径12インチ？

DC電源
スパッタ電源

アドバンスエナジー製　MDXシリーズ　MDX-10

DC電源
スパッタ電源

アドバンスエナジー製　Pinnacleシリーズ　ピナクル

RF電源
スパッタ電源

アドバンスエナジー製　RFX ll 5500

イオンゲージ
電離真空計

真空計　ライボルト製　他．．．
IONIVAC　IM110DV、IM210　各種

ターボ分子ポンプ

島津製：TMPシリーズ、TMP1002M、TMP1003M

ターボ分子ポンプ

アルバック製　TMP　UTM 1200FW　1000Lクラス

ターボ分子ポンプ

ライボルト製　TORBOVAC1000C　1000L

ターボ分子ポンプ

ライボルト製　TORBOVAC151　150L　3台有り

ターボ分子ポンプ

PFEIFFER製　TMU065 56l/s　5.5kg

スクロールポンプ

アルバック製　DVS-630　525/630L/min　3台有り

クライオポンプ

ダイキン製　V208SB512型　（クライオコンプレッサーセット品）3台あり

クライオポンプ

アルバック製　CRYO-U8H、 CRYO-U6H　フランジ6インチ、8インチ

ロータリーポンプ

ライボルト製　型式 D8C　未使用新古品

ロータリーポンプ

エドワーズ製　E2M18

ロータリーポンプ

日立製　160VP　145/174l/min

ロータリーポンプ

アルバック製　VD301　仕様：30/36m3/h

メカニカル
ブースターポンプ

ライボルト製　AM132502　2台あり（大型メカブ）

メカブポンプ

エドワーズ製　EH1200　多数あり

メカブポンプ

アルバック製　PMB006CM　500/600m3/hr　2.2kw

メカブポンプ

アルバック製　PMB001CM　95/115m3/hr　0.4kw

ドライ真空ポンプ

エドワーズ製　DP40、DP80

ドライポンプ

EBARA製（荏原製）　80x25SUERR6M　4台有り

ドライポンプ

樫山製　SD40V U-081-50　2.8kW　700L/min

ダイアフラム真空ポンプ

アルバック製　DA-240S　130Torr 　240/260L/min

ダイアフラムポンプ

アルバック製　DA-20D　20/24L/min

ダイアフラムポンプ

アルバック製　DA-60S　160Torr 　60/72L/min

マスフロー
コントローラー

STEC製　Aera製　
Ar、O2 SEC-E40 100SCCM　他、
多数有り