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 真空ポンプ専門サイト

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真空蒸着機 スパッタ装置 有機EL成膜装置
 
 

  

中古情報

 
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各種 真空ポンプ ここから真空ポンプのページがご覧頂けます。

真空コンポーネント ここから真空部品のページがご覧頂けます。

真空蒸着機 

イオンコーター(カーボンコーター) JEOL製(日本電子製)   型式:JEC-530

スパッタリング装置 ANELVA製   型式:SPF-332H

プラズマクリーナー ヤマト科学製   型式:PDV-210

ICPエッチャー STS製   型式:MESC Multiplex ICP

RF電源(高周波電源)/マッチングボックス ENI製   型式:RFC-5

プラズマアッシング装置 プラズマシステム製   型式:PE-615L

ヘリウムリークディテクター  島津製  型式:MSE-3200

プラズマアッシャー  モリエンジ製  型式:PB-600

RFスパッタリング装置  神鋼製  型式:SRV4220型 2元スパッタ

真空蒸着装置 ULVAC製  型式:EBX-12C

製膜装置  サムコ製  型式:PD-200D ダイアモンドライクカーボン

プラズマアッシャー プラズマシステム製  型式:DES-106-254E

ドライエッチング装置 アネルバ製  型式:DEM-451M

蒸着機 アネルバ製  型式:EVC-1501

電子銃(EB GUN)  アネルバ製  型式:EGP-230(A12)、最大出力5kW

スパッタ装置 ANELVA製  型式:SPF-530H

RF電源 AD-TEC製(アドテック)  型式:AX-1000U、AX-2000

RF電源   アルバック製  型式:PRF-065B

DC電源(スパッタ電源)   Advanced Energy製 型式MDXシリーズ Pinnacle

ヘリウムリークディテクター   ANELVA製 リークディテクター

スパッタ電源   DC電源:MDXシリーズ、RF電源(高周波電源)

スパッタ-エッチング装置/アッシング装置   各種メーカー 情報はお問い合わせ下さい。

ドライエッチング装置 真空蒸着機 イオンスパッタ マグネトロンスパッタ


在庫状況が頻繁に変動する為、当ホームページに記載の無い物についても在庫、取扱いがあります。
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豊富なネットワークと情報でお探しの装置を提供!
提携会社とのコミュニケーションにより、実験や研究用装置の取扱いを開始しました。



 
主な取扱商品
 
 

スパッタ装置
薄膜装置
真空ポンプ
ロータリーポンプ
バキュームポンプ
ケミカルポンプ
真空バルブ
DLC装置
高真空装置
真空オーブン
 

真空蒸着機
製膜装置
ターボ分子ポンプ
ドライポンプ
ターボポンプ
スパッタリング装置
真空計
真空チャンバー
超高真空装置
ドライエッチング
CVD装置
エッチング装置
クライオポンプ
ブースターポンプ
圧送ポンプ
真空ゲージ
有機EL成膜装置
光学真空装置
光学膜装置
クライオコンプレッサー
 

 
主な取扱メーカー
 
 

芝浦
アルバック
アルカテル
ULVAC
檜山
日立

昭和真空
アネルバ
エドワーズ
ダイキン
ファイファー
津島

シンクロン
SEIKO
ライボルト
樫山
バリアン
大阪真空

 

 


  電子銃(EB GUN)
  
アネルバ製  型式:EGP-230

 
       
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  真空蒸着機
  
 

       
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  イオンコーター/カーボンコーター
  
JEOL製(日本電子製)  型式:JEC-530

 
       
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  イオンスパッタ
  
日立製  型式:E-1045

 
 
売却済      
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  イオンコーター(QUICK COATER)
  
サンユー電子製  型式:SC-701

 
       
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  スパッタリング装置
  
ANELVA製  型式:SPF-332H

       
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  プラズマクリーナー
  
ヤマト科学製  型式:PDV-210

 
       
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  スパッタ装置
  
アネルバ製  型式:SPF-530H

 
       
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  ヘリウムリークディテクター
  
島津製 型式:MSE-3200

       
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  ICPエッチャー
  
STS製   型式:MESC Multiplex ICP

 
       
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  RF電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
ENI製   型式:RFC-5

       
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  RFプラズマ電源(高周波電源)/マッチングボックス
  
AD-TEC製(アドテック製)   型式:AX-3000V

 
売却済      
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  プラズマアッシング装置
  
プラズマシステム製   型式:PE-615L

 
 
       
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  プラズマアッシャー
  
モリエンジニアリング製 型式:PB-600

 
       
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  スパッタリング装置(RFスパッタ)
  
神鋼製 型式:SRV4220型

       
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  真空蒸着機
  
アルバック製 型式:EBX-12C

 
       
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  イオンスパッタ(卓上スパッタ装置)
  
日立製 型式:E-1030

 
       
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  製膜装置
  
サムコ製 型式:PD-200D

 
       
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  プラズマアッシャー
  
プラズマシステム製 型式:DES-106-254E

 
 
       
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  ドライエッチング装置
  
アネルバ製 型式:DEM-451M

       
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  蒸着機
  
アネルバ製 型式:EVC-1501

 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
ENI製 型式:OEM-10B

 
       
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  ヘリウムリークディテクター
  
アネルバ製

 
 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
AD-TEC製(アドテック)  型式:AX-1000   型式:AX-2000

 
 
       
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  RF電源(スパッタ電源)
  
アルバック製  型式:PRF-065B

 
 
       
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  DC電源(スパッタ電源)
  
アドバンスドエナジー製  DC電源:MDXシリーズ

       
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     【過去の納入実績と主な取扱商品】

真空装置

品名 型式 メーカー

MASS FLOW STNDRD

MFS-402A TYLAN

RF電源

RXF アドバンスエナジー

スクロールポンプ

ESDP30 エドワーズ

ターボ分子ポンプ

TG200VALL 大阪真空

ダイアフラムポンプ

DA-20D ULVAC

ドライポンプ

DP80 エドワーズ

ドライポンプ

DP40 エドワーズ

ドライポンプ

DP-80 エドワーズ

ドライポンプ+メカブ

iH600 エドワーズ

ドライポンプコントローラー

DP80用 エドワーズ

ベローズポンプ

FB-50C IWAKI

ベローズポンプ

FB-70C IWAKI

ベローズポンプ

FF-20BT1 IWAKI

ベローズポンプ

FS-15HT2 IWAKI

メカニカルブースターポンプ

EH1200 エドワーズ

メカニカルブースターポンプ

EH250 エドワーズ

ロータリーポンプ

  アルバック

ロータリーポンプ

D8C ライボルト

ロータリーポンプ

VR16F3 日立

ロータリーポンプ

160VP 日立

真空ポンプ

DA-60S アルバック

EB電源

  日本電子

イオンミリング装置

  日立

エッチング装置

  AMAT

エッチング装置

  サムコ

クライオコンプレッサー

  オリオン

クライオコンプレッサー

  ヘリックス

クライオポンプ

  アルバック

クライオポンプ

  オリオン

真空蒸着機

  シンクロン

スパッタ装置

  AMAT

スパッタ装置

  アネルバ

スパッタ装置

  芝浦

スパッタ装置

  トッキ

スパッタ装置

  ユナクシスジャパン

ターボ分子ポンプ

  アルバック

ターボ分子ポンプ

  エドワーズ

ターボ分子ポンプ

  大阪真空

ターボ分子ポンプ

  セイコー

ターボ分子ポンプ

  バルザース

ターボ分子ポンプ

  三菱重工業
 
 

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