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ターボ分子ポンプ
三菱重工製 型式：PT-150、ICFフランジ
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TMP
ターボ分子ポンプ
メーカー：三菱重工
型式：PT-150
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ターボ分子ポンプ
SEIKO
SEIKI製 型式：STP-1000 ICFフランジ
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TMP
ターボ分子ポンプ
メーカー：SEIKO
型式：STP-1000
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ターボ分子ポンプ
大阪真空製 型式：TH250CM ICF152
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TMP
ターボ分子ポンプ
メーカー：大阪真空
型式：ＴＨ250CM
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スクロールポンプ
アネスト岩田製 型式：ISP-500B 500L/min
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スクロールポンプ
メーカー：アネスト岩田
型式：ISP-500B
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ロータリーポンプ
TOKUDA製 型式：DRP-360YⅡ、2.7×10-2Pa
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油回転ポンプ
ロータリーポンプ
メーカー：徳田製
型式：DRP-360YⅡ
到達真空度：2.7×10-2
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クライオポンプ
アルバック製、型式：CRYO-U8H 型式：CRYO-U6H
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クライオポンプ
メーカー：アルバック
口径：6インチ、8インチ
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クライオポンプ
アネルバ製、CAP-120 080 CAP-131
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クライオポンプ
メーカー：アネルバ
口径：8インチ、10インチ
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クライオポンプ
ヘリックステクノロジー製、型式：CT-8
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クライオポンプ
メーカー：へリックス製
口径：8インチ
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ロータリーポンプ
アルカテル製 型式：2063
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ロータリーポンプ
メーカー：アルカテル
型式：2063
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イオンポンプ
アネルバ製 型式：PI
C-050A-IP
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ドライ真空ポンプ
エドワーズ製 型式：IL600
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ドライ真空ポンプ
樫山製 型式：RD90
型式： RD300
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